| 发明名称 | 数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻方法，包括：利用448nm激光器出射激光，其出射的激光经过起偏器变成线偏振光，并经过空间滤波器进行滤波后成为线偏振的平行光，再经过反射镜1反射至数字微镜设备DMD，从DMD出射光变成为与加载在DMD上的图案一样形状的平行光，并射入扩束装置；该扩束装置使光束尺寸与多面棱镜侧面尺寸匹配，再通过反射镜2入射到多面棱镜侧面，且每一入射光经过多面棱镜的偏折后出射，通过上下移动样品台使从多面棱镜出射的多路光线干涉叠加在光刻胶上，实现多光束干涉光刻。本发明方案实现了多光束干涉光刻光路的简化，无需使用大量分束器和反射镜；同时，所刻写结构的尺寸远小于DMD直写光刻结构尺寸。 | ||
| 申请公布号 | CN105446089A | 申请公布日期 | 2016.03.30 |
| 申请号 | CN201511017157.6 | 申请日期 | 2015.12.29 |
| 申请人 | 中国科学技术大学 | 发明人 | 崔辰静;鲁拥华;王沛 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人 | 郑立明;郑哲 |
| 主权项 | 一种数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻方法，其特征在于，包括：利用448nm激光器出射激光，其出射的激光经过起偏器变成线偏振光，并经过空间滤波器进行滤波后成为线偏振的平行光，再经过反射镜1反射至数字微镜设备DMD，从DMD出射光变成为与加载在DMD上的图案一样形状的平行光，并射入扩束装置；该扩束装置使光束尺寸与多面棱镜侧面尺寸匹配，再通过反射镜2入射到多面棱镜侧面，且每一入射光经过多面棱镜的偏折后出射，通过上下移动样品台使从多面棱镜出射的多路光线干涉叠加在光刻胶上，实现多光束干涉光刻。 | ||
| 地址 | 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 | ||