疏水表面滴状冷凝的毛细力拾取和振动控制的微对象操作装置及方法

摘要

疏水表面滴状冷凝的毛细力拾取和振动控制的微对象操作装置及方法，本发明涉及微米级对象操作与微装配技术，本发明为了解决现有技术中毛细力操作方式一般是利用探针浸蘸后末端残留的液滴作为操作条件，既不能有效控制操作液滴的尺寸，因为过大或过小的液滴都会造成操作任务失败，也不能在拾取后实现操作液滴的动态控制，以及粘着力的主导作用造成的微对象在液滴消失后粘着在探针的末端不能顺利脱落的问题，它包括位移控制机构、制冷工作操作机构和四个连接螺柱，位移控制机构包括隔振台、三轴精密电动位移平台、连接底板、手动位移升降台、振动模块连接板、测微头、测微头夹具、压电陶瓷振动模块和探针夹具，本发明用于微米级对象操作领域。

主权项

疏水表面滴状冷凝的毛细力拾取和振动控制的微对象操作装置，其特征在于：它包括位移控制机构(1)、制冷工作操作机构(2)和四个连接螺柱(3)，位移控制机构(1)包括隔振台(1‑1)、三轴精密电动位移平台(1‑2)、连接底板(1‑3)、手动位移升降台(1‑4)、振动模块连接板(1‑5)、测微头(1‑6)、测微头夹具(1‑7)、压电陶瓷振动模块(1‑8)和探针夹具(1‑9)，制冷工作操作机构(2)包括第一散热水冷头(2‑1)、第一制冷片(2‑2)、第二散热水冷头(2‑3)、第二制冷片(2‑4)、第一制冷片夹具(2‑5)、第二制冷片夹具(2‑6)、操作探针(2‑7)、制冷模块连接底座(2‑8)和操作基底(2‑9)，三轴精密电动位移平台(1‑2)固定安装在隔振台(1‑1)的上端面上，连接底板(1‑3)固定安装在三轴精密电动位移平台(1‑2)上，振动模块连接板(1‑5)通过手动位移升降台(1‑4)固定安装在连接底板(1‑3)上，测微头夹具(1‑7)安装在振动模块连接板(1‑5)上，测微头(1‑6)安装在测微头夹具(1‑7)上，测微头(1‑6)的底端与压电陶瓷振动模块(1‑8)的顶端固定连接，压电陶瓷振动模块(1‑8)的底端与探针夹具(1‑9)的上端固定连接，操作探针(2‑7)的一端固定安装在探针夹具(1‑9)上，制冷模块连接底座(2‑8)设置在手动位移升降台(1‑4)的下方，且制冷模块连接底座(2‑8)安装在连接底板(1‑3)上，第一制冷片夹具(2‑5)安装在制冷模块连接底座(2‑8)上，第一制冷片(2‑2)的发热面紧靠第一散热水冷头(2‑1)设置，且第一制冷片(2‑2)和第一散热水冷头(2‑1)均固定安装在第一制冷片夹具(2‑5)上，第二制冷片(2‑4)的发热面紧靠第二散热水冷头(2‑3)设置，且第二制冷片(2‑4)和第二散热水冷头(2‑3)均固定安装在第二制冷片夹具(2‑6)上，第一制冷片夹具(2‑5)和第二制冷片夹具(2‑6)通过四个连接螺柱(3)固定连接，第一制冷片(2‑2)的制冷面和第二制冷片(2‑4)的制冷面相对设置，操作探针(2‑7)竖直设置在第一制冷片(2‑2)和第二制冷片(2‑4)之间，操作基底(2‑9)设置在操作探针(2‑7)下方，且操作基底(2‑9)的底部固定安装在隔振台(1‑1)上。