发明名称 PATTERNED STAMP MANUFACTURING METHOD, PATTERNED STAMP IMPRINTING METHOD AND IMPRINTED ARTICLE
摘要 굴곡 표면(10)을 패터닝하기 위한 패터닝된 스탬프(100)를 제작하는 방법이 개시된다. 방법은 피처들(122)의 패턴을 갖는 가요성 스탬프 층(120)을 제공하는 단계; 피처들의 상기 패턴이 굴곡 표면을 마주하도록 가요성 스탬프 층을 굴곡 표면상에 압박하는 단계; 굴곡 표면상의 가요성 스탬프 층 위에 유체 지지층(130)을 도포하는 단계; 패터닝된 스탬프를 형성하기 위해 지지층(140)을 응고시키는 단계; 및 굴곡 표면으로부터 패터닝된 스탬프를 제거하는 단계를 포함한다. 대응하는 패터닝된 스탬프, 임프린팅 방법 및 임프린트된 물품이 또한 개시된다.
申请公布号 KR20160034363(A) 申请公布日期 2016.03.29
申请号 KR20167004296 申请日期 2014.07.22
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS N.V. 发明人 VAN BRAKEL REMCO;VERSCHUUREN MARCUS ANTONIUS
分类号 G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/24;G03F9/00;H01L21/027 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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