| 摘要 |
Пристрій прецизійної плазмової обробки, який містить в собі вакуумну камеру з засобами відкачки та запірно-регулюючою газовою системою, в нижній частині якої вісесиметрично розміщені тримач з оброблюваною підкладкою та кільцевий електрод, тримач і кільцевий електрод з'єднані через узгоджувальні пристрої з ВЧ-генераторами, а зовні камера облаштована магнітною системою. В верхній частині камери змонтоване діелектричне вікно з антеною, яка з'єднана через узгоджувальний пристрій з ВЧ-генератором, а тримач з оброблюваною підкладкою складається з дискової та кільцевої частин, які розміщені вісесиметрично в одній площині та зверху закриті діелектричними кільцем та диском різної товщини, при цьому товщина діелектричного кільця установлюється за певним виразом. |
