| 摘要 |
본 공정 및 시스템은 증기 쉴드 및 다양한 두께 및 조성물의 다양한 단열층으로 둘러싸인 다수의 독립적으로 제어가능한 가열기를 포함하는 핫존 설계를 가진 수-냉각된 수평 노를 활용할 수 있는 고 융점을 가진 무결점인 큰 산화물 결정을 제조하는데 사용될 수 있다. 원료 물질, 예컨대 청옥 결정 또는 알루미늄 분말을 롤러 상을 이동하도록 위치할 수 있는 도가니 또는 보트에 넣을 수 있다. 상기 도가니는 증기 쉴드 및 단열재로 둘러싸인 노 환경을 통해 제어되는 속도로 당겨져(또는 밀어서) 원료 물질을 용융시키고 이어서 청옥 결정으로 결정화시킬 수 있다. 진공 수준은 노에 부착된 진공 시스템에 의해 제어될 수 있다. 공정 변수(예컨대, 전력, 온도, 당김 속도(즉, 이동 속도), 가열 속도, 냉각 속도 및 챔버 압력)는 시스템의 각각의 구성으로부터의 입력을 받고 필요한 제어 출력을 보내도록 구성될 수 있는 제어 시스템에 의해 제어될 수 있다. |
