| 摘要 |
物質表面を複製するために測定される物質の表面上で型押し、圧縮もしくは成形されたレプリカテープを特性評価する装置および方法を提供する。レプリカテープは、レプリカテープの圧縮性表面が第１の保持部品に接触して固定されるように、第１の保持部品と第２の保持部品との間で固定される。光源は、第２の保持部品、レプリカテープ、および第１の保持部品に光を透過させる。画像センサは、レプリカテープの圧縮性表面の少なくとも２つの測定点にそれぞれ透過された光の強度を測定する。処理ユニットは、少なくとも２つの測定点に透過された測定光強度を、それぞれ少なくとも２つの測定点のうちの対応する１つの測定点におけるレプリカテープの測定統計値に関連した少なくとも２つのデータ値に変換する。 |
