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Verfahren zur Herstellung einer Mikropumpe mit einem Fluidiksubstrat (2) das mindestens ein Polymer enthält und/oder aus diesem besteht, wobei das Fluidiksubstrat (2) mittels Prägen, Spritzgießen, in einem Formwerkzeug hergestellt wird, mindestens ein Mikrokanal (4) mittels eines Formwerkzeugs erzeugt wird, eine Polymermembran (3) sowie zwei Elektroden als Sandwich-Anordnung auf die Polymermembran (3) aufgebracht werden und ein elektroaktives Polymer (7) aus der Flüssigphase darauf aufgebracht wird. |
