刻划装置、刻划方法、保持具单元及保持具

摘要

本发明公开了刻划装置、刻划方法、保持具单元及保持具，提供能增长能使用的寿命且同时以利用刻划点形成的刻划线的方式形成高精度的刻划线的刻划装置、刻划方法、保持具单元及保持具。一种刻划装置，具备：刻划轮31；保持具单元30，具有将刻划轮旋转自如地轴支的销32与保持销的保持具40；刻划头，具有安装保持具单元的保持具接头部与使保持具单元升降的升降部；以及载台，载置脆性材料基板，其特征在于，保持具的插入孔43a、43b在上下方向形成为较长，通过保持具单元的升降使刻划轮接触基板后，刻划轮往上方移动，而与形成于保持具的旋转抑制部60抵接，以抑制刻划轮的旋转。

主权项

一种刻划装置，其具备：保持具单元，具有刻划轮、将前述刻划轮旋转自如地轴支的销、通过将前述销往插入孔插入以保持前述销的保持具；刻划头，具有安装前述保持具单元的保持具接头部与使前述保持具单元升降的升降部；以及载台，载置脆性材料基板；通过对前述刻划轮施加载重以于载置于前述载台上的脆性材料基板的表面形成刻划线，其特征在于：前述保持具的插入孔于上下方向形成为较长；通过前述保持具单元的升降使前述刻划轮接触前述脆性材料基板后，前述刻划轮与前述销一起往上方移动，而与形成于前述保持具的旋转抑制部抵接，由此抑制前述刻划轮的旋转。