微机械系统和用于制造微机械系统的方法

摘要

微机械系统和用于制造微机械系统的方法。制造微机械系统的方法包括在FEOL工艺中在晶体管区域中形成晶体管的步骤。在FEOL工艺之后，在晶体管区域中沉积保护层，其中保护层包括隔离材料。至少在不是晶体管区域的区域中形成结构化牺牲层。此外，形成至少部分覆盖结构化牺牲层的功能层。在形成功能层之后，去除牺牲层以便在功能层与沉积有牺牲层的表面之间产生空腔。保护层保护晶体管避免在MOL以及BEOL工艺中的进一步处理步骤中的蚀刻工艺期间受到损害。相同的氧化物可以用作BEOL中的金属化工艺的基础。因此，通常用作晶体管的保护的保护层可以保留在晶体管上方。因此，在BEOL工艺之前施加的保护层变成氧化物覆盖物的部分。

主权项

一种用于制造微机械系统的方法，所述方法包括：在晶体管区域中形成前段制程（FEOL）工艺晶体管；在所述FEOL工艺之后，在所述晶体管区域中沉积保护层，其中所述保护层包括隔离材料；形成牺牲层；对所述牺牲层进行结构化以形成结构化牺牲层；形成至少部分覆盖所述结构化牺牲层的功能层；以及去除所述牺牲层以产生空腔。