一种基于TiO₂纳米碗阵列的紫外光探测器及其制备方法

摘要

一种基于TiO₂纳米碗阵列的紫外光探测器及其制备方法，属于有机光电器件技术领域。首先采用溶胶凝胶法和PS球模板法在导电玻璃上生长作为电子受体的TiO₂纳米碗阵列，再采用溶液旋涂方法在TiO₂纳米碗阵列上制备作为电子给体的PVK薄膜，然后采用真空蒸镀法在有源层上制备作为空穴传输层的WO₃薄膜，最后采用真空蒸镀法在WO₃薄膜上制备作为顶电极的金属薄膜。本发明制备的有机无机杂化紫外光探测器具有制备方法简单，成本低廉，可大面积成膜的特点，并具有明显的光谱选择特性。

主权项

一种基于TiO₂纳米碗阵列的有机无机杂化紫外光探测器，其特征在于：从光入射方向，依次由导电玻璃衬底、作为电子受体的呈三角晶格排列紧密堆积的TiO₂纳米碗阵列、作为电子给体的PVK薄膜、作为空穴传输层的WO₃薄膜和作为顶电极的金属薄膜组成；呈三角晶格排列紧密堆积的TiO₂纳米碗阵列的碗形结构单元的内径为360～390nm，脊部高度为50～80nm，脊部厚度为90～120nm，底部厚度为30～60nm，相邻两个碗形结构单元圆心连线的长度为420～440nm，PVK薄膜的厚度为100～150nm，WO₃薄膜的厚度为10～15nm，金属薄膜的厚度为50～60nm。