一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法

摘要

一种硅片线切割用水基切削液，由下列重量份的原料制成：环烷酸钠2-3、壬基酚聚氧乙烯醚2-3、油酸二乙醇胺1-2、脂肪酸甘油酯4-5、月桂醇硫酸钠1-2、矿物油15-18、石油磺酸钠2-3、油酸1-2、助剂6-8、水200；本发明切削液的表面张力低,极大提高切削液对磨料的润湿性,提高了磨料的分散性,避免磨料团聚结成块对硅片带来损坏；冷却和润滑性能好，加工精度高，有利于提高硅片切割的成品率,使硅片切割成品率达到98%，而且切割线使用寿命长；对硅片无腐蚀且可在硅片表面形成保护膜,使硅片更容易被清洗。

主权项

一种硅片线切割用水基切削液，其特征在于由下列重量份的原料制成：环烷酸钠2‑3、壬基酚聚氧乙烯醚2‑3、油酸二乙醇胺1‑2、脂肪酸甘油酯4‑5、月桂醇硫酸钠1‑2、矿物油15‑18、石油磺酸钠2‑3、油酸1‑2、助剂6‑8、水200；所述的助剂由下列重量份的原料制成：聚氧乙烯山梨糖醇酐单油酸酯2‑3、纳米氮化铝0.1‑0.2、碳酸氢铵2‑3、乙醇胺1‑2、羧甲基壳聚糖2‑3、二乙二醇丁醚1‑2、丙二醇5‑8、桃胶2‑3、硅酸钠1‑2、尿素3‑4、过硫酸铵1‑2、水20‑24；制备方法是将过硫酸铵溶于水后，再加入其它剩余物料，搅拌10‑15分钟，加热至70‑80℃，搅拌反应1‑2小时，即得；所述硅片线切割用水基切削液的制备方法包括以下步骤：将水、环烷酸钠、壬基酚聚氧乙烯醚、月桂醇硫酸钠、石油磺酸钠混合，加热至40‑50℃；加入脂肪酸甘油酯、矿物油、油酸、助剂，在1000‑1200转/分搅拌下继续加热到70‑80℃，搅拌10‑15分钟；加入其他剩余成分，继续搅拌15‑20分钟，即得。