一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头

摘要

本实用新型公开了一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头，包括：用于发射三条激光束的三个激光源；用于固定测杆与测球的测头基座，测头基座设有激光源或者光电探测器；用于接收三条入射激光束的三个光电探测器；用于使测头基座做直线运动的平移部件；用于将测头基座回复至初始位置的回复部件；计算得到测球的三维位移变化值的处理系统。该新型三维扫描测头通过三个光电探测器能够得到在三个不同直线方向的测头位移量，进而获得被测工件更为准确的测量坐标。该新型三维扫描测头提高了测量精度，简化了结构，降低了生产成本，易于批量加工制造。

主权项

一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头，其特征在于，包括：三个激光源，用于发射三条激光束，即激光束一(21)、激光束二(22)和激光束三(23)；三个光电探测器，即光电探测器一(31)、光电探测器二(32)和光电探测器三(33)，分别用于接收所述激光束一(21)、激光束二(22)和激光束三(23)；测头基座(4)，所述测头基座上设有激光源一(11)、激光源二(12)和激光源三(13)，以及用于检测的测杆(6)和测球(7)；平移部件，用于使所述测头基座(4)做直线运动；回复部件，用于将所述测头基座(4)回复至初始位置；处理系统，根据所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)和光电探测器三(33)上分别获得的激光束一(21)，激光束二(22)和激光束三(23)入射位置变化值，计算得到所述测球(7)的三维位移变化值。