电极框体以及具备该电极框体的带电粒子束发生装置

摘要

本发明提供一种电极框体以及具备该电极框体的带电粒子束发生装置，所述带电粒子束发生装置具备由所述电极框体构成的引出电极，所述电极框体及所述带电粒子束发生装置能够改善更换形成狭缝状开口部的电极棒时的工作效率。电极框体（2）构成带电粒子束引出用的电极，具有使带电粒子束通过的开口部（3）。从一个方向观察电极框体（2）时，在电极框体（2）的开口部（3）周围的一部分上形成有电极棒支承部（7），该电极棒支承部（7）支承横跨开口部（3）配置的电极棒（5）的两端。此外，带电粒子束发生装置具备由所述电极框体（2）构成的引出电极。

主权项

一种电极框体，构成带电粒子束引出用的电极，其特征在于，所述电极框体具有使带电粒子束通过的开口部，并且从所述电极框体的上方观察所述电极框体时，在所述电极框体的所述开口部周围的至少一部分上形成有电极棒支承部，该电极棒支承部支承横跨所述开口部配置的电极棒的两端，所述电极棒支承部形成在所述电极框体的表面上，并从所述表面凹陷，所述电极棒支承部是通过把位于所述开口部的周围的所述电极框体的端部切开成长方体形而形成的，在所述电极棒支承部的上方安装有盖体，所述盖体沿着电极棒的排列设置方向被分割成多个。