用以将一制造工具定位于一洁净空间制造设施内之装置，生产基板材料之方法，及在一洁净空间制造设施内安装处理工具之方法

摘要

明系针对一可以例行布置及更换处理工具之制造设施提供各种支持态样。该等支持态样包括：支持处理工具之结构；一用于一单个基板之洁净环境托板；及一促进电、液体及气体公共设施至一布置于该制造机中之处理工具之连接及断开之快速断开法兰。

主权项

一种耦接机构，用以将一制造工具本体连接至一底盘，该耦接机构包括：该耦接机构之一第一密封表面，具有一用于一第一管道之主连接点，该主连接点系形成于该第一密封表面；该耦接机构之第二密封表面，具有一次连接点，该次连接点经定位以与该主连接点介接；一靠近于该主连接点之密封；其中该密封形成在该主连接点及该第一管道之各个次连接点之间的一气体密封，一真空密封或一液体密封之一个或多个；及其中该耦接机构之该第一密封表面连接至一第一制造工具，该第一制造工具包括一第一工具本体及一第一工具埠，且当该第一制造工具自一设备移除时，该第一密封表面与该第一制造工具被移除，其中该设备用以在一制造设施上定位该制造工具，而该制造设施包括至少一第一洁净空间。