蓄电装置的制造方法

摘要

开的发明的目的之一在于：提供一种能够提高放电容量的蓄电装置；或者，提供一种能够抑制由于反复进行充放电而导致的电极的退化的蓄电装置。一种蓄电装置的制造方法，包括如下步骤：在集电体上，作为活性物质层，利用使用作为材料气体的包含矽的气体和作为稀释气体的氮或氦的减压化学气相沉积法形成包含晶须密集的晶须群的结晶矽层。

主权项

一种蓄电装置的电极的制造方法，包括如下步骤：在集电体上，利用使用包含矽的气体和氮的减压化学气相沉积法形成包含晶须群的结晶矽层。