发明名称 |
用于无电金属化之安定催化剂 |
摘要 |
催化金属和没食子酸或没食子酸衍生物或其盐之奈米粒子之催化剂。该催化剂系用于无电金属镀覆。该催化剂系不含锡。
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申请公布号 |
TWI526573 |
申请公布日期 |
2016.03.21 |
申请号 |
TW101129864 |
申请日期 |
2012.08.17 |
申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 |
发明人 |
米勒姆 克里斯腾M;克利瑞 丹奈德E;齐尼克 玛莉亚 安娜 |
分类号 |
C23C18/28(2006.01);C23C18/31(2006.01);B01J23/38(2006.01);B01J31/02(2006.01) |
主分类号 |
C23C18/28(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
主权项 |
一种无电沉积金属之方法,包括:a)提供基板;b)将水性催化剂溶液施加至该基板,该水性催化剂溶液包括一种或多种选自银、金、铂、钯、铱、铜、铝、钴、镍和铁之金属和一种或多种选自没食子酸、没食子酸衍生物和其盐之安定用化合物的奈米粒子,其中,该水性催化剂溶液系不含锡,该奈米粒子的直径系至少1nm,以及该一种或多种安定用化合物的量系50ppm至1000ppm;以及c)使用无电金属镀覆浴来无电沉积金属到该基板上,其中,该无电沉积的金属系铜、铜合金、镍或镍合金。
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地址 |
美国 |