电浆处理系统

摘要

明揭露一种具有电力传输元件之处理系统，电力传输元件具有内腔体，电力传输元件将电磁能量传播至内腔体中的连续缝隙附近。连续缝隙形成内腔体与基板处理腔室之间的开口。电磁能量可在连续缝隙中产生交流电荷，而能产生可传播至处理腔室中的电场。电场可与处理腔室中的处理气体互相作用，以产生用于处理基板之电浆。内腔体可藉由覆盖连续缝隙之介电元件而与处理腔室隔开。电力传输元件(无论其本身或与其他电浆源组合)可用以控制处理腔室内的电浆密度。

主权项

一种电浆处理系统，包含：一电力传输元件，包含：一内腔体，用以传播电磁波；一连续缝隙，沿着该电力传输元件的一边，该连续缝隙形成该内腔体与该电力传输元件的外表面之间的开口；一电源，可提供电力信号至该电力传输元件，而使该系统能在该电力传输元件附近及外侧产生电浆；一介电元件，设置成覆盖该连续缝隙的至少一部份、并传送该电力信号的至少一部份通过该开口；及一电浆处理区域，邻近该电力传输元件，并可支撑半导体基板。