| 发明名称 |
光阻组合物 |
| 摘要 |
明提供一种光阻组合物，其包含：聚合物，其包含衍生自由式(I)代表之化合物之结构单元， |
| 申请公布号 |
TWI526456 |
申请公布日期 |
2016.03.21 |
| 申请号 |
TW099134253 |
申请日期 |
2010.10.07 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
增山达郎;桥本和彦;重松淳二 |
| 分类号 |
C08F220/18(2006.01);G03F7/004(2006.01);C08K5/42(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C08F220/18(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种光阻组合物，其包含：聚合物，其包含衍生自由式(I)代表之化合物之结构单元：
其中R1代表氢原子或甲基，R2代表可具有一或多个取代基之C6-C12芳香族烃基，R3代表氰基或可具有一或多个取代基且可含有一或多个杂原子之C1-C12烃基，A1代表单键、-(CH2)g-CO-O-*或-(CH2)h-O-CO-(CH2)i-CO-O-*，其中g、h及i各自独立地代表1至6之整数且*代表至氮原子之结合位置；树脂，其具有酸不稳定基团且不溶或难溶于硷性水溶液，但藉助酸的作用变得可溶于硷性水溶液；及酸产生剂，其中上述聚合物之含量以固体组份之量计为0.1重量%至5重量%。
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| 地址 |
日本 |
