| 发明名称 |
盐、阻剂组成物及阻剂图案的制造方法 |
| 摘要 |
明提供一种式(I)表示之盐及含有该盐之阻剂组成物，
其中Q1及Q2独立地表示氟原子或C1至C6全氟烷基；L1表示*-CO-O-La-或*-CH2-O-Lb-，*表示键结至-CQ1Q2之键结，La及Lb独立地表示C1至C15二价饱和脂肪族烃基，及含在该二价饱和脂肪族烃基之一或多个-CH2-可由-O-或-CO-所置换；环W1表示C2至C36杂环，及含在该杂环之一或多个-CH2-可由-O-所置换；Re1、Re2、Re3、Re4、Re5、Re6、Re7、Re8、Re9、Re10、Re11、Re12、及Re13独立表示氢原子、卤原子、羟基、C1至C12烃基或羧基，或Re1、Re2、Re3、Re4、Re5、Re6、Re7、Re8、Re9、Re10、Re11、Re12、及Re13中之二者，该二者个别地键结至相邻碳原子，可与键结的两个碳原子一起形成
环，及含在该烃基之一或多个-CH2-可由-O-或-CO-所置换；Z表示单键或二价键结基。
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| 申请公布号 |
TWI526438 |
申请公布日期 |
2016.03.21 |
| 申请号 |
TW101107424 |
申请日期 |
2012.03.06 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
山口训史;市川幸司 |
| 分类号 |
C07D327/08(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C07D327/08(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
一种式(I)表示之盐，
其中Q1及Q2独立地表示氟原子或C1至C6全氟烷基；L1表示*-CO-O-La-或*-CH2-O-Lb-，*表示键结至-CQ1Q2之键结，La及Lb独立地表示C1至C15二价饱和脂肪族烃基，及含在该二价饱和脂肪族烃基之一或多个-CH2-可由-O-或-CO-所置换；环W1表示C2至C36杂环，及含在该杂环之一或多个-CH2-可由-O-所置换；Re1、Re2、Re3、Re4、Re5、Re6、Re7、Re8、Re9、Re10、Re11、Re12、及Re13独立表示氢原子、卤原子、羟基、C1至C12烃基或羧基，或个别地键结至相邻碳原子的Re1、Re2、Re3、Re4、Re5、Re6、Re7、Re8、Re9、Re10、Re11、Re12、及Re13中之二者可与键结的两个碳原子一起形成环，及含在该烃基之一或多个-CH2-可由-O-或-CO-所置换；Z表示单键、C1至C4烷二基、C6至C10伸芳基、羰基(-CO-)、磺醯基(-SO2-)、羰基氧基(-COO-)、羰基亚胺基(-CONH-)、磺醯基亚胺基(-SO2NH-)、亚胺基(-NH-)、二硫基(-SS-)、伸乙烯基(-CH=CH-)、亚胺基羰基亚胺基(-NHCONH-)、亚胺基磺醯基亚胺基(-NHSO2NH-)、氧
原子(-O-)、或硫原子(S-)。
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| 地址 |
日本 |
