管理装置、基板处理系统、基板处理装置及其档案管理方法、档案传送方法及其档案比较方法、及电脑可读取之记录媒体

摘要

明之课题在于可抑制自基板处理装置之设定档案及与设定档案相关之关联档案之漏取并且减轻操作员之负担。

主权项

一种管理装置，其构成为：连接于至少保持包含定义有处理条件及处理顺序之制程配方之设定档案之基板处理装置，若受理上述制程配方档案之输入，则读入上述制程配方档案之内容，自上述基板处理装置取得上述制程配方档案及自包含与上述制程配方档案相关之记载有子配方之子配方档案、记载有进行温度控制之PID表之温度控制参数档案、记载有进行压力控制之PID表之压力控制参数档案、记载有移载参数之移载参数档案之群中选择之至少1个以上之关联档案，并作成包含已取得之上述含有制程配方之设定档案及已取得之上述关联档案的档案群，以可输出之方式加以保管。