| 摘要 |
본 발명의 전기 디바이스용 부극 활물질은, 질량비로, 25％를 초과하고 54％ 미만의 규소와, 1％를 초과하고 47％ 미만의 탄소와, 13％를 초과하고 69％ 미만의 아연을 함유하고, 잔량부가 불가피 불순물인 합금을 갖는다. 당해 부극 활물질은, 예를 들어, 규소, 탄소 및 아연을 타깃으로 하여, 다원 DC 마그네트론 스퍼터 장치를 사용함으로써 얻을 수 있다. 그리고 당해 부극 활물질을 적용한 전기 디바이스는, 그 사이클 특성을 유지하면서, 초기 충방전 효율을 향상시킬 수 있다. |
