用于有机电激光显示的基板的蒸镀方法和蒸镀装置

摘要

本发明提出了一种用于有机电激光显示的基板的蒸镀方法和蒸镀装置。该蒸镀方法包括以下步骤：步骤一，调整用于支撑基板的支撑组件与坩埚平台之间的距离，步骤二，调整设置在所述坩埚平台上的所述坩埚的开口方向，步骤三，将需要蒸镀的基板设置在支撑组件上，并使设置在所述坩埚内的蒸镀源挥发附着在所述基板的表面上。该蒸镀方法和该蒸镀装置有助于提高OLED装置的发光效率。

主权项

一种用于有机电激光显示的基板的蒸镀方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，调整蒸镀装置的用于支撑基板的支撑组件与坩埚平台之间的距离，步骤二，调整设置在所述坩埚平台上的坩埚的开口方向，步骤三，将需要蒸镀的基板设置在所述支撑组件上，并使设置在所述坩埚内的蒸镀源挥发附着在所述基板的表面上。