| 发明名称 | 钻孔系统 | ||
| 摘要 | 一种钻孔系统(10)配置为检测在内置有测试试件(112)的多层衬底(110)的中间层(255)中的埋入式目标件(257)的深度，所述测试试件(112)包括在相对各端处具有探针位点(117)的迹线，所述系统包括：钻孔器，配置为钻孔通过所述多层衬底(110)内的所述测试试件(112)的迹线；连续性测量计(140)，配置为在所述钻孔器进行钻孔期间监控所述测试试件(112)；控制器(130)，配置为响应于所述连续性测量计(140)来确定所述埋入式目标件(257)的深度。 | ||
| 申请公布号 | CN205085738U | 申请公布日期 | 2016.03.16 |
| 申请号 | CN201520389422.2 | 申请日期 | 2015.06.08 |
| 申请人 | 是德科技股份有限公司 | 发明人 | B·S·赖特 |
| 分类号 | B23Q17/22(2006.01)I | 主分类号 | B23Q17/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市嘉元知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11484 | 代理人 | 刘彬 |
| 主权项 | 一种钻孔系统(10)，配置为检测在内置有测试试件(112)的多层衬底(110)的中间层(255)中的埋入式目标件(257)的深度，所述测试试件(112)包括在相对各端处具有探针位点(117)的迹线，所述系统包括：钻孔器，配置为钻孔通过所述多层衬底(110)内的所述测试试件(112)的迹线；连续性测量计(140)，配置为在所述钻孔器进行钻孔期间监控所述测试试件(112)；以及控制器(130)，配置为响应于所述连续性测量计(140)来确定所述埋入式目标件(257)的深度。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||