| 发明名称 |
模来石烧结体、其制法以及复合基板 |
| 摘要 |
明的模来石烧结体，杂质元素的含量为1质量%以下，模来石烧结粒的平均粒径为8μm以下，研磨精加工的表面所存在的气孔的最大部长度的平均为0.4μm以下。前述表面的中心线平均粗度(Ra)较佳为3nm以下。前述表面的最大高度(Rp)较佳为30nm以下。前述表面所存在的气孔数，较佳为每4μm×4μm的面积为10个以下。
|
| 申请公布号 |
TW201609600 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104117122 |
申请日期 |
2015.05.28 |
| 申请人 |
日本碍子股份有限公司 |
发明人 |
矶田佳范;佐藤洋介;胜田佑司 |
| 分类号 |
C04B35/101(2006.01);C04B38/00(2006.01) |
主分类号 |
C04B35/101(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
洪澄文 |
| 主权项 |
一种模来石烧结体，杂质元素的含量为1质量%以下，其中，模来石烧结粒的平均粒径为8μm以下，研磨精加工的表面所存在的气孔的最大部长度的平均为0.4μm以下。
|
| 地址 |
日本 |
