流路零件、液体喷出头及液体喷出装置

摘要

明之目的在于提供可确保个别连通口必要之长度之流路零件、液体喷出头、及液体喷出装置。

主权项

一种流路零件，其特征在于包含：流路空腔部，其系自矽基板之第1面朝相反侧之第2面侧直至板厚方向之中途凹陷而形成；及个别流路，其系自上述流路空腔部朝上述第2面侧贯通矽基板；且于上述矽基板之厚度方向上述个别流路之长度L与上述流路空腔部之实际深度D之和大于上述矽基板之厚度T。