线锯的再次开始运转方法及线锯

摘要

本发明是一种线锯的再次开始运转方法，在切断途中暂时中断工件的切断之后，再次开始该切断，特征在于，具有以下步骤：一边检测钢线的往复行进的方向和行进速度并按时间序列记录，一边切断前述工件；及，再次开始工件的切断时，根据至工件的切断中断时为止所记录的钢线的行进历程，控制钢线的往复行进的方向和向该方向行进的时间，再次开始进行切断，以使钢线的往复周期在工件的切断的中断前与再次开始后保持连续性。由此，在由线锯所实施的工件的切断中，即便在由于钢线的断线等而导致工件的切断在途中被中断的情况下，也能确实地抑制加工后的晶圆的纳米形貌的恶化，从而完成切断。

主权项

一种线锯的再次开始运转方法，针对使卷绕在二个以上带凹槽滚筒上的钢线以特定的周期在轴向上作往复行进，一边将切断用浆液供给至前述钢线，一边将工件相对地压下，使其压抵作往复行进的前述钢线来进行切入进给，将前述工件切断成晶圆状的线锯的运转，在切断途中暂时中断前述工件的切断之后，再次开始该切断，所述线锯的再次开始运转方法的特征在于，具有以下步骤：一边检测前述钢线的往复行进的方向和行进速度并按时间序列记录，一边切断前述工件；及，再次开始前述工件的切断时，根据至前述工件的切断中断时为止所记录的钢线的行进历程，控制前述钢线的往复行进的方向和向该方向行进的时间，再次开始进行切断，以使前述钢线的往复周期在前述工件的切断的中断前与再次开始后保持连续性。