研磨液用磨料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种研磨液用磨料及其制备方法，属于精密超精密研磨加工技术领域。该磨料由以下质量份数的原料制成：金刚石磨料0.5～3份，改性剂A 0.5～5份，纳米材料0.5～5份，改性剂B 1～10份，分散介质77～97.5份；所述改性剂A为异构醇与环氧乙烷缩合物、脂肪酸与环氧乙烷缩合物、聚氧乙烯失水山梨醇脂肪酸酯中的一种或多种；所述纳米材料为纳米级氧化硅、氧化铝、氧化铈中的一种或多种；所述改性剂B为聚乙二醇脂肪酸酯、蓖麻油/氢化蓖麻油与环氧乙烷缩合物中的一种或两种。研磨加工过程中，磨料中的粗粒度与细粒度颗粒能同时发挥磨削作用，提高研磨液的加工效率；另外还可避免常规金刚石磨料因吸附架桥效应而造成的工件表面划伤问题。

主权项

磨料，其特征在于：由以下质量份数的原料制成：金刚石磨料0.5～3份，改性剂A0.5～5份，纳米材料0.5～5份，改性剂B 1～10份，分散介质77～97.5份；所述改性剂A为异构醇与环氧乙烷缩合物、脂肪酸与环氧乙烷缩合物、聚氧乙烯失水山梨醇脂肪酸酯中的一种或多种；所述纳米材料为纳米级氧化硅、氧化铝、氧化铈中的一种或多种；所述改性剂B为聚乙二醇脂肪酸酯、蓖麻油/氢化蓖麻油与环氧乙烷缩合物中的一种或两种。