电子零件搬送装置、电子零件检查装置、及电子零件搬送方法

摘要

明之电子零件搬送装置具备：固持部，其具有开口部，且固持电子零件；流体抽吸供给部，其抽吸或供给流体；流路，其将开口部与流体抽吸供给部连通，可供流体流动；及流量检测部，其检测流路中之流体之流量；且于固持部固持电子零件之情形时，基于藉由流量检测部检测出之流体之流量判断有无异物。

主权项

一种电子零件搬送装置，其特征在于具备：固持部，其具有开口部，且固持电子零件；流体抽吸供给部，其抽吸或供给流体；流路，其将上述开口部与上述流体抽吸供给部连通，可供上述流体流动；及流量检测部，其检测上述流路中之上述流体之流量；且于上述固持部固持上述电子零件之情形时，基于藉由上述流量检测部检测出之上述流体之流量而判断有无异物。