发明名称 分断装置
摘要
申请公布号 JP5887927(B2) 申请公布日期 2016.03.16
申请号 JP20110287940 申请日期 2011.12.28
申请人 三星ダイヤモンド工業株式会社 发明人 法貴 哲夫;長友 正平
分类号 B23K26/364;B23K26/00;B23K26/08;B23K26/38;B28D5/00;C03B33/09;H01L21/301 主分类号 B23K26/364
代理机构 代理人
主权项
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