循环过滤式的核孔膜蚀刻装置

摘要

本实用新型公开了一种循环过滤式的核孔膜蚀刻装置,这种装置用于核孔膜批量蚀刻加工，主要应用领域包括核孔膜产品加工、核孔膜制备等。一种循环过滤式的核孔膜蚀刻装置，其主要特点在于包括有蚀刻槽管道连接加热槽的输入口，管道设有水路开关；加热槽的输出通过循环过滤机连接蚀刻槽，在加热槽内设有加热器，加热器监测蚀刻液温度的热敏探头设置在蚀刻槽中；配液槽内设有搅拌器，配液槽通过水路开关和加液过滤机管道连接蚀刻槽；补液槽内设有监测加热槽中浓度的浓度探头，补液槽向蚀刻槽中自动补给蚀刻液。该装置具有自动温度和浓度补偿，循环流动、自我清洁等优点，能够长期高效地进行核孔膜批量蚀刻。

主权项

一种循环过滤式的核孔膜蚀刻装置，其特征在于包括有蚀刻槽管道连接加热槽的输入口，管道设有水路开关；加热槽的输出通过循环过滤机连接蚀刻槽，在加热槽内设有加热器，加热器监测蚀刻液温度的热敏探头设置在蚀刻槽中；配液槽内设有搅拌器，配液槽通过水路开关和加液过滤机管道连接蚀刻槽；补液槽内设有监测加热槽中浓度的浓度探头，补液槽向蚀刻槽中自动补给蚀刻液。