| 发明名称 | 一种晶圆传输末端执行器 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种晶圆传输末端执行器，包括盘主体(1)，所述的盘主体(1)呈U形状，其U形闭合端带有连接部位，所述的连接部位上设有两个安装定位孔(2)，盘主体的U形开口端带有第一U形臂和第二U形臂，且在第一U形臂和第二U形臂中间设有一端臂，所述的端臂与第一U形臂和第二U形臂平行。与现有技术相比，本实用新型具有工作精确、结构简单、实用方便等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN205092232U | 申请公布日期 | 2016.03.16 |
| 申请号 | CN201520858394.4 | 申请日期 | 2015.10.30 |
| 申请人 | 上海工程技术大学 | 发明人 | 李林博;韦进飞;陈文尧;马宁;宋芳 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人 | 叶敏华 |
| 主权项 | 一种晶圆传输末端执行器，包括盘主体(1)，其特征在于，所述的盘主体(1)呈U形状，其U形闭合端带有连接部位，所述的连接部位上设有两个安装定位孔(2)，所述的盘主体的U形开口端带有第一U形臂和第二U形臂，且在第一U形臂和第二U形臂中间设有一端臂，所述的端臂与第一U形臂和第二U形臂平行。 | ||
| 地址 | 201620 上海市松江区龙腾路333号 | ||