| 摘要 |
본 발명은, 일면에 미세 패턴이 형성된 소프트 몰드 위에 구리, 은, 철 등과 같은 전기전도성의 금속을 스퍼터링하여, 이를 이용하여 전주도금하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 미세 패턴이 형성된 소프트 몰드를 이용하여 미세 패턴을 전주도금하는 방법이 제공되는데, 본 방법은 (a) 상면에 미세 패턴이 형성된 소프트 몰드를 제공하는 단계; (b) 상기 소프트 몰드의 하면에 자성이 있는 금속을 스퍼터링하여 자성층을 형성하는 단계; (c) 상기 소프트 몰드의 상면에 전기 전도성의 금속을 스퍼터링하여 전기전도성 금속층을 형성하는 단계; (d) 상기 소프트 몰드의 자성층을 자석 지그에 부착시키는 단계; (e) 상기 소프트 몰드의 전기전도성 금속층 위에 제1금속을 전주도금하여 제1전주도금층을 형성하는 단계; (f) 상기 제1전주도금층을 떼어내는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
