| 发明名称 |
用于移除光阻的剥离剂组成物以及使用其的光阻剥离方法 |
| 摘要 |
明关于一种用于移除光阻之剥离剂组成物，其包含：至少一种胺化合物；醯胺类化合物，其中具有1至5个碳原子之直链或分支链烷基经氮单取代或二取代；极性有机溶剂；三唑类化合物；以及苯并咪唑类化合物，及一种使用其的光阻剥离方法。 |
| 申请公布号 |
TW201610144 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104123477 |
申请日期 |
2015.07.21 |
| 申请人 |
LG 化学股份有限公司 |
发明人 |
朴泰文;郑大哲;李东勋;李友览;李贤濬;金周永 |
| 分类号 |
C11D3/30(2006.01);C11D3/32(2006.01);C11D3/43(2006.01);C11D3/28(2006.01);C11D1/82(2006.01);G03F7/42(2006.01);B08B3/04(2006.01) |
主分类号 |
C11D3/30(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗;郑婷文;詹富闵 |
| 主权项 |
一种用于移除光阻之剥离剂组成物，其包括： 至少一种胺化合物； 醯胺类化合物，其中具有1至5个碳原子之直链或分支链烷基经氮单取代或二取代； 极性有机溶剂； 由式1表示之三唑类化合物；以及 由式2表示之苯并咪唑类化合物： [式1]其中，R1为氢或具有1至4个碳原子之烷基， R2与R3彼此相同或不同且各自独立地为具有1至4个碳原子之羟基烷基，且 a为1至4之整数， [式2]其中R4为氢或具有1至4个碳原子之烷基，且 b为1至4之整数。 |
| 地址 |
南韩 |
