透射X射线分析装置及方法

摘要

本发明提供一种透射X射线分析装置及方法，能够在使用TDI传感器检测试料的透射X射线像之际，容易且大范围地调节TDI传感器的累加级数。本透射X射线分析装置（1）检测对既定的扫描方向（L）上相对移动的试料（100）的透射X射线像进行检测，具备：时间延迟积分式的TDI传感器（14），以2维状具备多个读取将由来于透射X射线像的图像光电转换而生成的电荷的摄像元件，该TDI传感器在扫描方向上多级排列线性传感器（14a~14h），该线性传感器中摄像元件沿与扫描方向垂直的方向排列，将积累在一个线性传感器中的电荷转移到邻接的下一个线性传感器；遮蔽装置（21），配置于TDI传感器和试料之间，沿扫描方向前进后退而遮蔽入射到TDI传感器的图像的一部分；遮蔽装置位置控制装置（60），控制遮蔽装置的位置以遮蔽既定级数的线性传感器。

主权项

一种透射X射线分析装置，对既定的扫描方向上相对移动的试料的透射X射线像进行检测，其特征在于，所述透射X射线分析装置具备：时间延迟积分式的TDI传感器，以2维状具备多个读取将由来于所述透射X射线像的图像光电转换而生成的电荷的摄像元件，该TDI传感器在所述扫描方向上多级排列线性传感器，该线性传感器中所述摄像元件沿与所述扫描方向垂直的方向排列，将积累在一个线性传感器中的电荷转移到邻接的下一个线性传感器；遮蔽装置，配置于所述TDI传感器和所述试料之间，沿所述扫描方向前进后退而遮蔽入射到所述TDI传感器的所述图像的一部分；以及遮蔽装置位置控制装置，控制所述遮蔽装置的位置以遮蔽既定级数的所述线性传感器。