| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Reinraums sowie eine Steuervorrichtung für einen Reinraum, wobei der Reinraum (10) einen Arbeitsraum (12, 13, 14), eine raumlufttechnische Anlage (15) und eine Steuervorrichtung (16) umfasst, wobei mittels der Steuervorrichtung die raumlufttechnische Anlage gesteuert und/oder geregelt wird, wobei mittels der raumlufttechnischen Anlage eine Luftwechselrate in dem Arbeitsraum und eine Druckdifferenz zwischen dem Arbeitsraum und einer Umgebung (25) ausgebildet wird, wobei die Steuervorrichtung zumindest eine Sensoreinrichtung (19) zur Erfassung eines einen Betriebsparameter repräsentierenden Ist-Wertes umfasst, wobei mittels der Steuervorrichtung die Luftwechselrate derart angepasst wird, dass der Ist-Wert im Bereich eines Soll-Wertes liegt. |
