光学微影用玻璃基板

摘要

明系关于一种含有含氟合成石英玻璃之光学微影用玻璃基板，其中该玻璃基板具有图案形成区域，且在将该图案形成区域分成复数个部分时，各自具有沿该图案形成区域之长边方向的条形，使得分割数大于或等于3，各部分之平均氟浓度大于或等于1质量%且该等部分中之该平均氟浓度之分布小于或等于0.45质量%。

主权项

一种包含含氟合成石英玻璃之光学微影用玻璃基板，其中该玻璃基板具有图案形成区域，及在将该图案形成区域分成复数个部分时，各自具有沿该图案形成区域之长边方向的条形，使得分割数大于或等于3，各该部分之平均氟浓度大于或等于1质量%且该等部分中之该平均氟浓度之分布小于或等于0.45质量%。