| 摘要 |
샘플의 하나 이상의 파라미터 측정에 사용하기 위한 제어 시스템이 제공된다. 상기 제어 시스템은 입력 유틸리티 및 프로세서 유틸리티를 포함한다. 입력 유틸리티는, 샘플 내 물질 분포를 나타내는 샘플의 X-선 회절 또는 고해상도 X-선 회절(XRD) 응답 데이터를 포함하는 제 1 데이터와, 적어도 상기 샘플의 기하구조를 나타내는, 입사광에 대한 샘플의 광학적 응답 데이터를 포함하는 제 2 데이터를 포함하는 입력 데이터를 수신하도록 구성된다. 상기 프로세서 유틸리티는, 상기 제 1 및 제 2 데이터 중 하나를 최적화시키기 위해 상기 제 1 및 제 2 데이터 중 다른 하나를 처리 및 분석하도록 구성 및 작동가능하고, 그리고, 상기 최적화된 데이터를 이용하여 샘플 내 응력변형 분포를 포함한 상기 샘플의 하나 이상의 파라미터를 결정하도록, 구성 및 작동가동하다. |
