发明名称 FILM-FORMING MASK AND METHOD FOR PRODUCING FILM-FORMING MASK
摘要 본 발명은 관통하는 복수의 개구 패턴(4)을 형성하는 동시에, 한 면에 복수의 개구 패턴(4)을 내포하는 크기의 개구를 가진 틀 모양의 금속 박막(5)을 설치한 수지제의 필름(1)과, 필름(1)의 한 면(1a)측에서 금속 박막(5)의 개구에 대응한 위치에 필름(1)과 분리 독립하여서 설치되고, 복수의 개구 패턴(4) 중 적어도 하나의 개구 패턴(4)을 내포하는 크기의 복수의 관통공(6)을 형성한 메탈 마스크(2)와, 필름(1)의 한 면(1a)측에 위치하고, 메탈 마스크(2)의 복수의 관통공(6)을 내포하는 크기의 개구부(7)를 형성하여 틀 모양으로 형성되고, 필름(1) 및 메탈 마스크(2)를 팽팽하게 걸친 상태에서, 금속 박막(5)의 부분 및 메탈 마스크(2)의 주연부 영역을 한 단면(3a)에 스폿 용접하여 필름(1) 및 메탈 마스크(2)를 지지하는 금속 프레임(3)을 구비하여 구성한 것이다.
申请公布号 KR20160029032(A) 申请公布日期 2016.03.14
申请号 KR20157036977 申请日期 2014.06.30
申请人 V TECHNOLOGY CO., LTD. 发明人 MIZUMURA MICHINOBU
分类号 C23C14/04;H01L21/203;H01L51/00 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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