曝光机的UV能量调整装置

摘要

作提供一种曝光机的UV能量调整装置，包含UV能量感测器及移动机构，移动机构驱动UV能量感测器移动， UV能量感测器感测曝光机的平面光源的UV-LED的照射能量，UV-LED用以照射曝光对象；UV能量调整部，连接UV-LED、UV能量感测器及移动机构以调整UV-LED的照射能量为相同。藉此，本创作可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的良率。

主权项

一种曝光机的UV能量调整装置，其包含： 一UV能量感测部，其具有一UV能量感测器及至少一移动机构，该移动机构驱动该UV能量感测器移动，该UV能量感测器用以感测该曝光机的一平面光源的复数UV-LED的照射能量，该等UV-LED用以照射一曝光对象；以及 一UV能量调整部，其连接该等UV-LED、该UV能量感测器及该移动机构，以调整该等UV-LED的照射能量为相同。