| 发明名称 |
金属沉积之溶液及方法 |
| 摘要 |
明之一实施态样为如针对制造电子装置之用以沉积金属及金属合金的沉积溶液。依据一实施例，沉积溶液包含金属离子及pH调节剂。pH调节剂包含具有通式(R1R2N)(R3R4N)C=N-R5的官能基，其中：N为氮；C为碳；且R1、R2、R3、R4、及R5为相同或不同，并代表氢、烷基、芳香族羟基、或烷芳香族羟基。本发明之另一实施态样为制备沉积溶液的方法。
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| 申请公布号 |
TWI525214 |
申请公布日期 |
2016.03.11 |
| 申请号 |
TW100138482 |
申请日期 |
2011.10.24 |
| 申请人 |
兰姆研究公司 |
发明人 |
寇力克斯 亚图 |
| 分类号 |
C23C18/31(2006.01);C23C18/52(2006.01) |
主分类号 |
C23C18/31(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
许峻荣 |
| 主权项 |
一种沉积溶液，用以在基板上形成金属，该沉积溶液包含金属离子及pH调节剂，该pH调节剂包含官能基，该官能基具有通式(R1R2N)(R3R4N)C=N-R5其中：N为氮；C为碳；及R1、R2、R3、R4、及R5为相同或不同，且代表氢、烷基、芳香族羟基、或烷芳香族羟基，以产生该沉积溶液之自4.5至14的pH；且该沉积溶液不具有硷金属。
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| 地址 |
美国 |
