发明名称 树脂及含有该树脂之光阻组成物
摘要 明系提供一种树脂,包括式(aa)所示之结构单元:
申请公布号 TWI525115 申请公布日期 2016.03.11
申请号 TW100149143 申请日期 2011.12.28
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 金亨柱;釜渊明;市川幸司
分类号 C08F228/06(2006.01);G03F7/039(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 C08F228/06(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项 一种树脂,包括式(aa)所示之结构单元:式中,R1表示视需要地具有一个或多个卤素原子之C1-C6烷基、氢原子或卤素原子,T1表示视需要地具有一个或多个取代基之C4-C34磺内酯环基,Z1表示视需要地具有一个或多个取代基之C1-C6烷二基,或式(a-1)所示之基团:式中,X10及X11各自表示-O-、-NH-、-CO-、-CO-O-、-O-CO-、-CO-NH-或-NH-CO-,A10、A11及A12各自表示视需要地具有一个或多个取代基之C1-C5二价脂肪族烃基,s表示0或1,以及Z2表示单键或-CO-。
地址 日本