光罩检测装置

摘要

作系揭露一种光罩检测装置，其包含检测基座、移动平台、转动平台、承载平台、雷射测距模组、垂直位移模组、处理模组及影像撷取模组。检测基座之一面上设有支架。移动平台设于检测基座之该面上，且位于检测基座及支架之间，移动平台沿检测基座作第一方向之位移。转动平台设于移动平台之上，且沿移动平台作第二方向之位移。承载平台设于转动平台之一面上，承载平台承载光罩，光罩包含基板、框架及防尘膜，框架系设于基板之一面上，防尘膜设于框架上。雷射测距模组位于支架之一侧，雷射测距模组对应防尘膜之其中一检测区域产生测距讯号。垂直位移模组位于支架之一侧。处理模组依据测距讯号控制垂直位移模组升降。影像撷取模组相邻雷射测距模组而设置于垂直位移模组上，且于垂直位移模组升降后，撷取由雷射测距模组所量测之检测区域之检测影像。其中，当影像撷取模组撷取其中一检测区域之检测影像后，移动平台将下一个检测区域移至对应雷射测距模组及影像撷取模组之位置，以产生下一个检测区域之测距讯号及检测影像，处理模组依据复数个测距讯号产生防尘膜高度资讯，且依据各检测影像产生检测资讯。

主权项

一种光罩检测装置，其包含： 一检测基座，系一面上设有一支架； 一移动平台，系设于该检测基座之该面上，且位于该检测基座及该支架之间，该移动平台系沿该检测基座作一第一方向之位移； 一转动平台，系设于该移动平台之上，且沿该移动平台作一第二方向之位移； 一承载平台，系设于该转动平台之一面上，该承载平台系承载一光罩，该光罩系包含一基板、一框架及一防尘膜，该框架系设于该基板之一面上，该防尘膜系设于该框架上； 一雷射测距模组，系位于该支架之一侧，该雷射测距模组系对应该防尘膜之其中一检测区域产生一测距讯号； 一垂直位移模组，系位于该支架之一侧； 一处理模组，系依据该测距讯号控制该垂直位移模组升降；以及 一影像撷取模组，相邻该雷射测距模组而设置于垂直位移模组上，且于该垂直位移模组升降后，撷取由该雷射测距模组所量测之该检测区域之一检测影像； 其中，当该影像撷取模组撷取其中一该检测区域之该检测影像后，该移动平台系将下一个该检测区域移至对应该雷射测距模组及该影像撷取模组之位置，以产生下一个该检测区域之该测距讯号及该检测影像，该处理模组系依据该复数个测距讯号产生一防尘膜高度资讯，且依据各该检测影像产生一检测资讯。