基板处理方法及基板处理装置

摘要

一种基板处理方法及基板处理装置，该基板处理方法可有效除去受到摩擦处理中可能生成之氟离子影响所生成的污染成分。
一种基板处理方法，系处理使用于液晶显示面板且已摩擦处理完毕之基板；该方法之构成包含：第1步骤，系藉由溶氮水洗净前述基板，且该溶氮水系使至少含氮气之气体溶解于水而形成者；并且前述溶氮水之温度系调整于40℃以上且80℃以下之范围内。

主权项

一种基板处理方法，系处理使用于液晶显示面板且已摩擦处理完毕之基板，该方法包含：第1步骤，系藉由溶氮水洗净前述基板，且该溶氮水系使至少含氮气之气体溶解于水而形成者；并且前述溶氮水之温度系调整于40℃以上且80℃以下之范围内。