Piezoelektrischer Positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel

摘要

Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung schaffen eine Vorrichtung mit einem Mikrospiegel, einer Anregungsstruktur, die den Mikrospiegel enthält oder trägt, und zumindest einem piezoelektrischen Sensor. Die Anregungsstruktur weist zumindest einen piezoelektrischen Aktuator auf, wobei die Anregungsstruktur ausgebildet ist, um den Mikrospiegel resonant anzuregen, um eine Auslenkung des Mikrospiegels hervorzurufen. Der zumindest eine piezoelektrische Sensor ist ausgebildet, um ein von der Auslenkung des Mikrospiegels abhängiges Sensorsignal bereitzustellen, wobei der piezoelektrische Sensor mit der Anregungsstruktur verbunden ist, so dass bei der resonanten Anregung des Mikrospiegels das Sensorsignal und die Auslenkung des Mikrospiegel eine feste Phasenbeziehung zueinander aufweisen.