旋转处理装置的密封机构

摘要

一种旋转处理装置的密封机构，在用环状的密封构件密封构成压力容器的壳体的开口部与贯通该开口部的旋转处理机构的连结部之间的间隙时，提高密封构件的密封特性。通过采用密封构件，能够提高配置旋转处理机构的连结部的壳体的开口部的密封特性，并且能够抑制由于在旋转动作时产生的摇晃(振动)而导致密封特性降低，该密封构件是从与壳体的内部气氛接触的一侧依次层叠氟系树脂材料的层、橡胶系树脂材料的层、尼龙系材料的基布而成的三层结构，并且被设计成包括弯曲成峰形的部分以及被壳体和连结部的夹紧单元夹持的形成有至少两个峰的凸部的两端的部分的剖面形状。

主权项

一种旋转处理装置，具备：壳体，构成压力容器；旋转处理机构，包括在上述壳体内旋转的旋转体、配置在上述壳体外的使上述旋转体旋转的驱动装置、及贯通上述壳体的开口部来将上述旋转体与驱动装置连结的连结部；以及环状的密封构件，密封上述壳体的开口部与位于该开口部的连结部之间的间隙，该旋转处理装置的特征在于，上述密封构件是从与上述壳体的内部气氛接触的一侧依次层叠氟系树脂材料的层、橡胶系树脂材料的层、及尼龙系材料的基布而成的三层结构，并且，上述密封构件的剖面形状包括：中央部分，配置在上述壳体与连结部之间的间隙，且弯曲成峰形；以及两端的被夹紧部，被上述壳体和上述连结部的夹紧单元夹持，形成有至少两个峰的凸部。