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发明名称
PROCESSES AND SYSTEMS FOR PURIFYING SILANE
摘要
Processes and systems for purifying silane-containing streams are disclosed with relatively less silane being lost in impurity streams by use of distillation and/or condensation operations.
申请公布号
EP2993157(A2)
申请公布日期
2016.03.09
申请号
EP20150170509
申请日期
2011.09.21
申请人
MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC.
发明人
TRUONG, TIMOTHY DINH;GUPTA, PUNEET;GU, ZHIHUI
分类号
C01B33/04;B01D3/14
主分类号
C01B33/04
代理机构
代理人
主权项
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