一种用于蚀刻含铜金属层的金属蚀刻剂及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于蚀刻含铜金属层的金属蚀刻剂及其制备方法，该金属蚀刻剂由以下按照重量份的原料组成：过氧化氢20-30份、乙酸1-5份、次氨基三乙酸1-3份、羧甲基纤维素钠10-15份、硼酸15-20份、富马酸钠12-14份、氟化钠1-2份、乙二醇4-10份、联苯胺黄2-10份、硬脂酸钡6-8份、偶氮二异丁腈8-12份。本发明还提供了用于蚀刻含铜金属层的金属蚀刻剂的制备方法。该金属蚀刻剂的蚀刻速率高达132nm/min以上，远远高于一般的蚀刻液，提高了蚀刻效率，且在加入铜粉末的情况下，该金属蚀刻剂仅具有38.9℃的最高温度，因此抑制了有效成分过氧化氢的分解，显著的提高了稳定性。

主权项

一种用于蚀刻含铜金属层的金属蚀刻剂及其制备方法，其特征在于，由以下按照重量份的原料组成：过氧化氢20‑30份、乙酸1‑5份、次氨基三乙酸1‑3份、羧甲基纤维素钠10‑15份、硼酸15‑20份、富马酸钠12‑14份、氟化钠1‑2份、乙二醇4‑10份、联苯胺黄2‑10份、硬脂酸钡6‑8份、偶氮二异丁腈8‑12份。