用于通过等离子体反应器来处理金属零件的设备和方法

摘要

本申请公开了一种等离子体反应器，包括反应腔室(23)，该反应腔室与可离子化气体源(25)和加热装置(80)可连接，所述反应器(10)进行加热阶段(A)、清洁阶段(L)和/或表面处理阶段(S)、冷却阶段(R)、以及金属零件的卸载阶段(D)和装载阶段(C)。设备包括：至少两个反应器(10)，各反应器可选择地和交替地与相同的可离子化气体源(25)、相同的真空源(60)、相同的电能量源(50)和相同的加热装置(80)连接，该加热装置(80)可在操作位置之间移动，在各操作位置中，它在侧部和上部包围设备的相应反应器(10)，同时所述反应器处于加热阶段(A)以及金属零件(1)的清洁阶段(L)和/或表面处理阶段(S)中。

主权项

一种用于由等离子体反应器来处理金属零件的设备，所述等离子体反应器为包括金属壳体(20)的类型，所述金属壳体在内部确定了反应腔室(23)，所述反应腔室设有：支承件(30)；阳极‑阴极系统(40)，所述阳极‑阴极系统可与电能量源(50)连接；进口(21)，所述进口能够与可离子化气体源(25)连接；气体装料排出的出口(22)，所述出口可与真空源(60)连接；以及加热装置(80)，用于加热反应腔室(23)，所述反应器(1)进行加热阶段(A)、清洁阶段(L)和/或表面处理阶段(S)、冷却阶段(R)、以及金属零件(1)的卸载阶段(D)和装载阶段(C)，所述设备的特征在于它包括：至少两个反应器(10)，各反应器可选择地且交替地具有：进口(21)，它们的进口与相同的可离子化气体源(25)连接；出口(22)，它们的出口与相同的真空源(60)连接；以及阳极‑阴极系统(40)，所述阳极‑阴极系统与相同的电能量源(50)连接，加热装置(80)可在操作位置之间移动，在各操作位置中，加热装置在侧部和上部包围设备的相应反应器(10)，同时所述反应器(10)处于加热阶段(A)以及金属零件(1)的清洁阶段(L)和/或表面处理阶段(S)中。