一种液动压力、浮力及上浮距离的检测方法

摘要

本发明提出了一种液动压力、浮力及上浮距离的检测方法，所采用的液动压抛光设备包括抛光盘、容器、滚珠花键轴、动板和侧板，将用于液动压力测量的硅压阻式压力传感器固定在容器底部；用于浮力检测的压电式测力传感器安装在滚珠花键轴的上方；用于检测间隙距离的电感式传感器固定在容器底部；用于检测浮动距离的光栅读数头设置在动板上。本发明在微米级间隙小即实现了压力检测又实现了距离检测；将高速旋转的抛光盘的上浮量检测转化为动板的上浮量检测，减小了抛光盘表面不平整引起的检测误差；分别设置了液动压力、上浮力以及间隙距离和浮动距离的检测，可以通过拟合实验结果进行对比，保证实验的精确性。

主权项

一种液动压力、浮力及上浮距离的检测方法，所采用的液动压抛光设备包括抛光盘、容器、滚珠花键轴、动板和侧板，抛光盘通过联轴器连接滚珠花键轴，滚珠花键轴固定在动板上，且动板在直线导轨、滚珠丝杠和步进电机的带动下能够沿竖直方向上下运动；抛光下端设有容器，其特征在于：所述检测方法包括如下步骤：将用于浮力测量的硅压阻式压力传感器固定在容器底部，切在容器底部的同一圆周上均布了四个，该圆周与抛光盘底部的工件贴片位置相对应；将用于液动压力检测的压电式测力传感器安装在滚珠花键轴的上方，并且压电式测力传感器与千分尺旋钮连接，通过调节千分尺旋钮能够调节压电式测力传感器的上下位置从而实现压电式测力传感器与滚珠花键轴的接触与分离，压电式测力传感器与数显表连接；将用于检测间隙距离的电感式传感器固定在容器底部，且沿容器底部同一圆周上均布三个电感式传感器；将用于检测浮动距离的光栅读数头设置在动板上，并利用步进电机驱动滚珠丝杠，带动动板和光栅读数头做升降运动，直线导轨起支撑和传动作用，数显表与光栅读数头连接，通过数显表显示光栅读数头的运动。