校正利用坐标定位设备获得的测量的误差

摘要

描述了一种用于坐标定位设备的误差校正方法，该方法包括：（i）获得第一数据组，该第一数据组包括一个或更多个第一数据值，每个第一数据值都描述第一物体的表面上的位置；（ii）获得第二数据组，该第二数据组包括一个或更多个第二数据值，每个第二数据值都描述所述第一物体的表面上的位置；以及（iii）计算误差图，该误差图包括一个或更多个误差值，每个误差值都描述由所述第一数据组描述的表面与由所述第二数据组描述的表面之间的位置差。所述第一物体的表面法线在由每个第一数据值描述的每个位置处是已知的，并且步骤（iii）包括通过基本在已知表面法线的方向上确定所述位置差来计算每个误差值。在所述第一物体或名义上与所述第一物体相同的物体上执行处理和测量操作，其中利用在步骤（iii）中计算的误差图来校正所述第一物体或名义上与所述第一物体相同的物体的表面上的位置。

主权项

一种用于坐标定位设备的误差校正方法，该方法包括如下步骤：(i)获得第一数据组，该第一数据组包括一个或更多个第一数据值，每个第一数据值都描述第一物体的表面上的位置，所述第一数据值是从使用第一参考坐标定位设备获得的所述第一物体的测量导出的或从与所述第一物体相关联的设计数据导出的；(ii)获得第二数据组，该第二数据组包括一个或更多个第二数据值，每个第二数据值都描述所述第一物体的表面上的位置，所述第二数据值是从利用第二坐标定位设备获得的所述第一物体的测量导出的；以及(iii)计算误差图，该误差图包括一个或更多个误差值，每个误差值都描述由所述第一数据组描述的表面与由所述第二数据组描述的表面之间的位置差，其中所述第一物体的表面法线在由每个第一数据值描述的每个位置处都是已知的，并且步骤(iii)包括通过确定基本在已知表面法线的方向上的所述位置差来计算每个误差值，所述方法包括对所述第一物体或名义上与所述第一物体相同的物体执行处理或测量操作的另一步骤(iv)，其中利用在步骤(iii)中计算的所述误差图来校正所述第一物体或名义上与所述第一物体相同的物体的表面上的位置。